Продам Установки вакуумного напыления УВН-74П-3 и УВН–73П-2 Б/У

Установки вакуумного напыления УВН-74П-3 (дем3.273.024) и УВН – 73 П-2
(дем.3.273.020). В наличии: 4 установки УВН-74П-3 и 1 установка УВН – 73 П-2

Назначение: нанесение тонкопленочных покрытий из металлов и других матералов на подложки из кремния, стекла, керамики, ситалла, поликора и т.д. методом термического испарения в вакууме.

Методы испарения: электронно-лучевой (2 испарителя), резистивный (1 испаритель).

Напыляемые материалы: медь, хром, алюминий, титан и др.

Описание:

Высокопроизводительная установка спроектирована на базе УВН-70А-2 (установки универсальной автоматической вакуумной откачки). Технологическое устройство размещено в горизонтальной камере. Справа от установки размещается шкаф питания и управления элементами технологического устройства. Крышки камеры закреплены на горизонтальной траверсе, сдвигаются в сторону и разворачиваются, что обеспечивает легкий и удобный доступ к подложкам и технологическим устройствам.

Управление технологическим циклом нанесения проводящих слоев с подслоем обеспечивается в двух режимах – ручном и автоматическом.

Испарение материалов происходит на подложки, которые закреплены в держателях вращающегося барабана (28 позиций).

Откачка производится паромасляным насосом Н-5Т. Предварительная откачка – вакуумный агрегат АВЗ-20 или аналогичный (поставляется отдельно).

Технические характеристики:

Предельный вакуум в рабочей камере                                         5*10(-7) мм рт.ст.
Время достижения рабочего вакуума                                          60 мин
Размеры рабочей камеры                                                               700*550 мм * мм
Диапазон температур нагрева подложек                                     100-300 ^оС
Количество резистивных испарителей                                        1 шт.
Максимальная мощность резистивного испарителя                      2 кВт
Количество электронных испарителей с кольцевым катодом      2 шт.
Максимальная мощность электронного испарителя                      2,5 кВт
Скорость вращения барабана                                                        30 об/мин
Ток ионной очистки                                                                       150ма
Максимальная толщина наносимого слоя:
- меди                                                                                            10мкм
- алюминия                                                                                    7мкм
Максимальная скорость осаждения меди и алюминия              3мкм/мин
Расход воды температурой 15+10 гр. и давлением 2-4ат.         600+50л/час
Расход воды температурой 85+5 гр. и давлением 2-5ат.           200+50л/час
Давление сжатого воздуха                                                            3-5 атм
Максимальная потребляемая мощность                                       15 кВт
Габаритные размеры:
- установки                                                                           1500*2710*2150 мм*мм*мм
- шкафа управления                                                              950*600*1750 мм*мм*мм

Масса установки:
- установки                                                                            1250 кг
- шкафа управления                                                               450 кг

Установки находbkbcm в эксплуатации до 31 октября, в настоящее. Цена за 1 установку, обсуждается.